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石墨烯带作为超小纳米机电加速度计中的传感器
出处:纳米人  录入日期:2019-09-09  点击数:104

  纳米机电系统(NEMS)传感器和执行器可用于开发下一代移动,可穿戴和可植入设备。然而,这些NEMS器件需要超小,灵敏且可以低成本制造的换能器。瑞典皇家理工学院Xuge Fan,Max C. Lemme和Frank Niklaus等人研究表明,带有附着硅质量块的悬浮双层石墨烯带可以用作组合弹簧质量和压阻式传感器。
  使用与大规模半导体制造技术兼容的工艺创建的换能器可以产生NEMS加速度计,其比传统的最先进的硅加速度计占用至少两个数量级的芯片面积。通过该器件,研究人员还提取了双层石墨烯的杨氏模量值,并表明石墨烯带具有显著的内置应力。

 


  Grapheneribbons with suspended masses as transducers in ultra-smallnanoelectromechanical accelerometers,Nature Electronics (2019)
  https://www.nature.com/articles/s41928-019-0287-1
  文章来源:纳米人

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